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检测室内,神光1X射线光刻机正在运转着,一群工作人员依旧在孜孜不倦的测试和调整。
作为中芯国际的首席技术执行,官李伟光技术水平还可以,他两眼放光盯着眼前的庞然大物,这是多么美妙的工业之花。
李伟光心想,希望这台光刻机是秀外慧中的美人,而不是金玉其外。
高致远指着光刻机介绍道:“大家眼前的这台光刻机,就是我们神光仪器研发神光1X射线光刻机,具体技术指标,想必大家已经有所了解了。”
李伟光、赵军等人当然了解,工信部的公告附件上面,就有神光1X射线光刻机的技术指标,他们半路上已经研究过。
“高总,贵方的光刻机精度真的可以达到10~7纳米?”李伟光急促的问道。
“我知道大家非常怀疑,一旁有八寸硅片,中芯国际应该有带技术员过来吧?”
李伟光点了点头。
高致远指着一侧的库房继续说道:“你们可以派人拿着硅片,和我们的员工一起进行光刻测试。”
“那我们就恭敬不如从命了。”李伟光转过头向中芯国际的人吩咐道:“张工、李工,麻烦你们了。”
俩中年技术员麻利动手,他们借助工具小心翼翼的将硅片取出。
这些硅片不仅仅价格昂贵,而且非常脆弱,别说摔地上了,哪怕是空气最好也别直接接触,因为沾染上灰尘会非常麻烦。
将两片硅片送入专门的清洁设备之中,然后涂抹光刻胶,将光刻胶摊平到一定的厚度,晾干硅片表面的光刻胶。
其中的工序非常繁杂,也不能有一丝失误,这不仅仅考验机器设备,也考验技术员的水平。
要是其中一个环节出现失误,不仅白忙活了半天,硅片、光刻胶、清洁液这些耗材就白白浪费了,这些都是真金白银。
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