第六十五章 从修路开始（1 / 2）

叶舟跟着陈昊走进会议室，他在参会的众人中认出了许多熟悉的面孔，其中甚至还有国内半导体工业祖师爷级别的人物，王芹生。

看到他进来，所有人都站起身来向他示意，叶舟有些尴尬地站在原地，一时间不知道说什么好。

最后还是王芹生打破了沉默。

“年少有为啊！之前还不敢相信，这两天听了你谈话记录，无论是思路还是技术，都要超过我们这帮老头子太多了，不服老不行！”

“王老太抬举我了......”

叶舟连忙客气道。

“不是抬举！咱们做研究的讲究实事求是，你拿出来的东西，我们这群人几乎已经搞了一辈子了，可是直到现在都还没有搞出完整的技术来。”

“既然你拿出来了，那就受得起这份荣誉！”

“不过，话说回来，我觉得你的设想里还是有很多不全面的地方，来，坐下来，我们好好聊聊......”

一边说着，王芹生一边指了指他身边的座位示意叶舟过去，叶舟也不便推辞，便走到他身边坐下。

“你在制造光刻机制造环节提出的通过六云台同步取代传统双同步的设计理念，我觉得很新颖！但是，单向三云台的协作算法中，我有一部分没有看懂，现在也只是单纯地按照你的构思去做了，实际好不好用不知道，能给我简单讲讲吗？”

所谓的同步，其实指的是光刻机内部两个工作台的同步，这两个工作台必须始终以相同的速度运动，误差要控制在2nm之内，而进入到亚纳米级别的蚀刻时，同步率更是要求达到百分之一纳米以下。

叶舟从模拟器中提取到的思路是，改变传统中双工作台的模式，改用六个精密陀螺仪来实现六云台同步，每个云台只负责单向运动，避免往复过程中的停顿所产生的极微小误差。

但是，要做到这一点，就要求每个云台间的协作极为精密，针对每一个云台都要设置独立控制代码，而六套控制代码又需要相互关联，对算法的要求极高。

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